真空脱气还能改善附着力?对!你没看错

unima薄膜新材网2018-07-03 10:49:16

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| 真空脱气 改善附着力效果


针对在塑料树脂基材上的磁控溅射镀膜,从塑料树脂基材中渗出的高分子气体对于需要精密控制的磁控溅射工艺而言是种外来的扰乱因素。


日本生产ITO镀膜的各大厂商,在制备ITO膜的时候严格控制限制氧气的量,为了综合控制膜成分的组成效果而使用该工艺。


再则,在ITO上镀铜膜时,该工艺被认证具备改善铜膜附着力的功效。



脱气装置(日本国内某公司的车间现场照片)



| 脱气装置模式图





| 神钢磁控溅射卷绕镀膜机W60S模式图





| 溢出气体和真空脱气工艺





| ITO镀膜的膜品质改善效果





| 附着性改善的效果在ITO上镀的铜膜的附着力



真空脱气+附着打底层改善



| Degassing system:W30-1600D


基材宽度1600㎜、真空卷对卷方式处理




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